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JSM-IT800 日本電子熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

日本電子熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

  • 更新日期:2024-09-23
  • 訪問次數(shù):2419?

日本電子熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
適用于納米材料、化學(xué)、新材料、半導(dǎo)體器件的觀察和分析。

 

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undefined日本電子熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
產(chǎn)品說明

 

日本電子熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

JSM-IT800 整合了我們用于從高分辨率成像到快速元素分析的“浸沒式肖特基 Plus 場發(fā)射電子槍"、創(chuàng)新的電子光學(xué)控制系統(tǒng)“Neo Engine"以及無縫 GUI 系統(tǒng)“SEM Center",該系統(tǒng)采用一體化 JEOL X 射線能量色散譜儀 (EDS) 作為通用平臺,進行快速元素分析。

 

JSM-IT800 允許物鏡作為一個更換模塊,提供不同的版本以滿足各種用戶需求。JSM-IT800 有五種版本,提供不同的物鏡:混合型物鏡 (HL),這是一種通用 FE-SEM;超級混合物鏡(SHL/SHLs,具有不同功能的兩種版本),可實現(xiàn)更高分辨率的觀察和分析;以及新開發(fā)的半浸沒式物鏡(i/is,具有不同功能的版本),適用于納米材料、化學(xué)、新材料、半導(dǎo)體器件的觀察和分析。

 

此外,JSM-IT800 還可以配備新型閃爍體背散射電子探測器 (SBED) 和多功能背散射電子探測器 (VBED)。SBED 支持以高響應(yīng)性獲取圖像,即使在低加速電壓下也能產(chǎn)生清晰的成分襯度,而 VBED 可以幫助獲取 3D、形貌和成分襯度的圖像。因此,JSM-IT800 可以幫助用戶獲取豐富多樣德 信息并解決測量中的問題。

 



技術(shù)參數(shù)

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主要的選配件

  • 高位電子檢測器 (UED)

  • 背散射電子檢測器 (BED)

  • 閃爍體背散射電子檢測器(SBED)

  • 多用途背散射電子檢測器(VBED)

  • 透射電子檢測器(TED)

  • 低真空 (含低真空背散射電子檢測器LVBED)

  • 低真空二次電子檢測器 (LVSED)

  • 電子背散射衍射 (EBSD)

  • 波譜儀 (WDS)

  • 軟X射線分光器 (SXES)

  • 探針電流檢測器

  • 樣品臺導(dǎo)航系統(tǒng)

  • 樣品室相機

  • 操作桌

  • 操作面板

  • LIVE-AI過濾器ー

  • SMILE VIEW™ Map


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